[发明专利]一种硒化物纳米棒、其制备方法及其制备的光电探测器有效
申请号: | 201910702294.5 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN110429148B | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 蒋连福;董文英 | 申请(专利权)人: | 南京倍格电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/032;H01L31/0256;H01L31/101;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京泰普专利代理事务所(普通合伙) 32360 | 代理人: | 刘兴华 |
地址: | 211100 江苏省南京市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种硒化物纳米棒、其制备方法及其制备的光电探测器,属于纳米半导体的制备领域。包括如下步骤:将KOH、SeO |
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搜索关键词: | 一种 硒化物 纳米 制备 方法 及其 光电 探测器 | ||
【主权项】:
1.一种纳米棒薄膜光电探测器,其特征在于,包括:基底,采用SiO2/Si制备的长方形底板;电极,在所述基底上雕刻有两个偏移预定距离的叉指Au电极,其长宽之比为10:1,指间距与所述叉指Au电极宽度相同;半导体介质,在所电极之间填充有硒化物纳米棒,形成薄膜;所述硒化物纳米棒为(Ag3xIn1‑x)2Se3,x=0~0.05。
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