[发明专利]一种硒化物纳米棒、其制备方法及其制备的光电探测器有效

专利信息
申请号: 201910702294.5 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN110429148B 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 蒋连福;董文英 申请(专利权)人: 南京倍格电子科技有限公司
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/032;H01L31/0256;H01L31/101;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 南京泰普专利代理事务所(普通合伙) 32360 代理人: 刘兴华
地址: 211100 江苏省南京市江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种硒化物纳米棒、其制备方法及其制备的光电探测器,属于纳米半导体的制备领域。包括如下步骤:将KOH、SeO2粉、AgNO3和In(NO3)3溶解于非配位溶剂和少量的乙二胺中,在惰性气体保护下,温度为200~240℃,并剧烈搅拌,保温12~24小时,制备得到硒化物纳米棒。碱在熔融状态下的其氢氧根离子分离成,然后在非配位溶剂的稀释下,降低其粘度提高其流动性,在熔融碱的这样的碱性环境中In2Se3形成纤锌矿结构的晶核,最后通过乙二胺分子在反应混合物中对晶面的竞争性吸附,诱导生长方向,促使In2Se3晶核继续吸附和少量的和各向异性生长。解决了在实际使用过程中,本征电导率过低,导致探测器的光谱响应度和外量子效率较低的问题。
搜索关键词: 一种 硒化物 纳米 制备 方法 及其 光电 探测器
【主权项】:
1.一种纳米棒薄膜光电探测器,其特征在于,包括:基底,采用SiO2/Si制备的长方形底板;电极,在所述基底上雕刻有两个偏移预定距离的叉指Au电极,其长宽之比为10:1,指间距与所述叉指Au电极宽度相同;半导体介质,在所电极之间填充有硒化物纳米棒,形成薄膜;所述硒化物纳米棒为(Ag3xIn1‑x)2Se3,x=0~0.05。
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