[发明专利]浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备有效
| 申请号： | 201910702446.1 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112305867B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 李先明;赵丹平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种浸液回收防扰动装置、浸没头气液循环系统及光刻设备，浸液回收防扰动装置包括壳体，形成有气液混合腔，所述气液混合腔的侧壁设置有进液口和出液口；多个气液缓冲体，固定于所述气液混合腔中，用于缓冲气液混合产生的扰动。本发明实施例能够缓冲管道中气液混合产生的扰动，降低管道和浸没头的震动，进而提高曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 浸液 回收 扰动 装置 浸没 头气液 循环系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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