[发明专利]非接触式位移传感器有效
| 申请号： | 201910706108.5 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110823091B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 久保光司 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种非接触式位移传感器，包括：聚焦定时计算器，其计算测量光聚焦在可测量物体表面上的测量侧聚焦定时、参考光聚焦在第一参考表面上的第一参考侧聚焦定时以及参考光聚焦在第二参考表面上的第二参考侧聚焦定时；特性计算器，其基于第一参考侧聚焦定时、第二参考侧聚焦定时和光路长度差来计算液体透镜装置的折射率特性；以及位置计算器，其基于折射率特性和测量侧聚焦定时相对于驱动信号周期的相位来计算可测量物体的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 位移 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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