[发明专利]一种可擦除全铁电场效应晶体管及其操作方法有效
申请号: | 201910706223.2 | 申请日: | 2019-08-01 |
公开(公告)号: | CN110491943B | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 江安全;柴晓杰;胡校兵;江钧;连建伟;蒋旭 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;G11C11/22;H03K17/687 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 翁惠瑜 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种可擦除全铁电场效应晶体管及其操作方法,所述场效应晶体管包括基底、源电极、漏电极、栅电极、铁电凸块和衬底,所述源电极和漏电极通过铁电凸块相隔离地设置于基底上,栅电极和源电极、漏电极隔离设置,所述栅电极设置于铁电凸块的上方,所述基底由具有畴壁导电特性的铁电材料制成,所述基底与铁电凸块的电畴极化方向均与栅电极平面法线方向存在夹角不为0并且使所述电畴在源漏电极的连线方向上有分量。与现有技术相比,本发明具有能够实现亚阈值摆幅接近为零,并大幅度降低系统的静态功耗等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 擦除 电场 效应 晶体管 及其 操作方法 | ||
【主权项】:
1.一种可擦除全铁电场效应晶体管,包括基底(10)、源电极(20)、漏电极(30)、栅电极(40)、铁电凸块(50)和衬底(60),所述源电极(20)和漏电极(30)通过铁电凸块(50)相隔离地设置于基底(10)上,栅电极(40)和源电极(20)、漏电极(30)隔离设置,所述栅电极(40)设置于铁电凸块(50)的上方,/n其特征在于,所述基底(10)由具有畴壁导电特性的铁电材料制成,所述基底(10)与铁电凸块(50)的电畴极化方向均与栅电极(40)平面法线方向存在夹角不为0并且使所述电畴在源漏电极的连线方向上有分量。/n
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