[发明专利]一种垂直度测量方法和装置

摘要

本发明实施例公开了一种垂直度测量方法和装置。该垂直度测量方法包括：提供一光学自准直仪和一平面反射镜；将平面反射镜放置于载物台上，准直光束经平面反射镜反射形成光斑，记录光斑的初始成像位置；将底座和镜框螺接，并放置于载物台上，将平面反射镜放置于镜框上；旋转镜框至少三次，记录每次旋转后光斑的测量成像位置；根据测量成像位置，获取底座表面反射的虚拟成像位置；根据初始成像位置、测量成像位置、虚拟成像位置以及刻度分划板上单位距离与平面倾角的转换关系，分别计算底座和镜框各自的螺纹轴线与承靠面的垂直度。本发明可对底座和镜框螺纹轴线和承靠面的垂直度进行同时测算，提高了垂直度的测算效率，同时保证垂直度的计算精度。

主权项

1.一种垂直度测量方法，其特征在于，用于测量底座和镜框中螺纹轴线与承靠面的垂直度，所述垂直度测量方法包括：提供一光学自准直仪和一平面反射镜，所述光学自准直仪包括载物台、物镜光管部件和测微目镜部件，所述物镜光管部件出射准直光束，所述测微目镜部件中设置有刻度分划板；将所述平面反射镜放置于所述载物台上，所述物镜光管部件出射的所述准直光束经所述平面反射镜反射至所述测微目镜部件中，并聚焦于所述刻度分划板上形成光斑，记录所述光斑在所述刻度分划板上的初始成像位置；将待测的所述底座和待测的所述镜框螺接，并放置于所述载物台上，所述底座位于所述载物台和所述镜框之间，将所述平面反射镜放置于所述镜框上；保持所述底座和所述载物台的相对位置固定以及所述底座和所述镜框螺接，并旋转所述镜框至少三次，记录每次旋转后所述光斑在所述刻度分划板上的测量成像位置；根据每次旋转后的所述测量成像位置，获取所述底座的表面将准直光束反射在所述刻度分划板上的虚拟成像位置；根据所述初始成像位置、所述虚拟成像位置以及所述刻度分划板上单位距离与平面倾角的转换关系，计算所述底座的螺纹轴线与承靠面的垂直度；根据所述测量成像位置、所述虚拟成像位置、所述刻度分划板上单位距离与平面倾角的转换关系，计算所述镜框的螺纹轴线与承靠面的垂直度。