[发明专利]一种晶圆自动化生产控制系统及方法在审
| 申请号： | 201910707224.9 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110376994A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 王贵石;范东方 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种晶圆自动化生产控制系统及方法，该方法包括：MES系统、通讯服务层模块、机台自动化平台和自动化设备，其中，MES系统通过通讯服务层模块和机台自动化平台与自动化设备通信，自动化设备将生产过程中的生产相关信息发送给MES系统；MES系统根据生产相关信息生成第一控制指令并发送给自动化设备。本发明实施例中，自动化设备将生产过程中的生产相关信息发送给MES系统，MES系统根据该生产相关信息生成第一控制指令，对晶圆生产的生产准备阶段、生产过程和/或生产产出阶段进行控制，提高晶圆生产的自动化和信息化程度，提升晶圆生产机台效能和产品良率，降低晶圆生产管理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 自动化设备 相关信息 晶圆 生产过程 生产 机台 自动化平台 自动化生产 控制系统 控制指令 通讯服务 种晶 生产管理成本 产品良率 生产机台 准备阶段 信息化 并发 自动化 通信 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆自动化生产控制系统，其特征在于，包括：制造执行MES系统、通讯服务层模块、机台自动化平台和自动化设备，其中，所述MES系统通过所述通讯服务层模块与所述机台自动化平台通信，所述机台自动化平台通过预设通信协议与所述自动化设备通信；所述自动化设备用于晶圆生产，并将生产过程中的生产相关信息发送给所述机台自动化平台；所述机台自动化平台用于将所述生产相关信息的格式转化为与所述MES系统对应的格式，并将所述生产相关信息发送给所述MES系统，所述的MES系统将生产过程信息存储到对应数据库；所述MES系统用于根据所述生产相关信息生成第一控制指令，所述第一控制指令用于对晶圆生产的生产准备阶段、生产过程和/或生产产出阶段进行控制；所述机台自动化平台还用于从所述MES系统接收所述第一控制指令，并将所述第一控制指令的格式转化为与所述预设通信协议对应的格式，并将所述第一控制指令发送给所述自动化设备。
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