[发明专利]一种近眼显示器衍射光栅波导的制备方法在审
| 申请号： | 201910707421.0 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110412684A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李晓军 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13;G03F7/00;G02B27/01 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 程虹 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种采用纳米压印技术的近眼显示器衍射光栅波导的制备方法，属于近眼显示技术领域，解决了现有技术中衍射光栅波导制备难度大、产量低、重复性差、无法进行大规模生产的问题。本申请的制备方法包括如下步骤：制备具有衍射光栅波导图案的压印模板；将压印模板的衍射光栅波导图案通过纳米压印工艺转印至转印模板，得到制备具有衍射光栅波导图案的反图案的转印模板；将转印模板的衍射光栅波导图案的反图案通过纳米压印工艺转印至波导衬底，得到近眼显示器衍射光栅波导。本申请的制备方法可用于近眼显示器衍射光栅波导的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光栅 制备 波导 近眼显示器 波导图案 转印模板 纳米压印工艺 压印模板 反图案 转印 申请 纳米压印技术 衬底 近眼 可用 | ||
【主权项】：
1.一种近眼显示器衍射光栅波导的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：制备具有衍射光栅波导图案的压印模板；步骤2：将压印模板的衍射光栅波导图案通过纳米压印工艺转印至转印模板，得到具有衍射光栅波导图案的反图案的转印模板；步骤3：将转印模板的衍射光栅波导图案的反图案通过纳米压印工艺转印至波导衬底，得到近眼显示器衍射光栅波导。
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