[发明专利]一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置在审
| 申请号： | 201910707732.7 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN110492339A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 张琴;韩晓泉;黄利杰;冯泽斌;张华;廖密;王香;江锐 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G01F7/00;G08B21/18 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。准分子激光器内多个气体单元、水路单元上对应的气体流量传感器、水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个气体单元、水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生低报警状态信号。该装置精确采集各单元的NPN信号并实时监测产生互锁，能保证各气路单元内气体流量和各水路单元水流量不低于危险下限值，不会出现因为气体流量值过低而损坏光学器件或者因为水路流量过低而损坏腔体及各配电单元的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 光电耦合器 水路 准分子激光器 继电器开关 气体单元 气体流量 互锁 继电器 气体流量传感器 报警状态信号 水流量传感器 激光器领域 水流量 光学器件 逻辑信号 配电单元 气路单元 实时监测 信号断开 终端装置 多参数 再连接 多路 腔体 采集 输出 转换 保证 | ||
【主权项】：
1.一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述准分子激光器内包括有：工作在浓度稳定的气体环境中的多个气体单元、工作在水流降温环境中的多个水路单元；所述多参数互锁终端装置包括多个：气体流量传感器、水流量传感器、光电耦合器、继电器；多个所述气体单元上设置有气体流量传感器，多个所述水路单元上设置有水流量传感器；其中：/n多个所述气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生气体流量低报警状态信号；/n多个所述水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开产生水流量低报警状态信号。/n
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