[发明专利]一种基于涡旋光螺旋相位相移干涉检测物体面型装置有效
| 申请号： | 201910710063.9 | 申请日： | 2019-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN110487212B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 赵冬娥;马亚云;张斌;王思育 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李微微 |
| 地址： | 03005*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于涡旋光螺旋相位相移干涉检测物体面型装置，由激光器发出的光，经过扩束准直及两个偏振片后，采用泰曼格林系统，在分光棱镜处，一束经扩束透镜组达到空间光调制器调制后发射产生涡旋光束作为参考光，另一束经过被测透明物体后经标准反射镜反射后，或直接经测量面型物体反射，与参考光在分光棱镜处合束，在光电传感器接收面上形成干涉图样；利用相位公式计算得到物体面型；本发明采用泰曼格林系统使空间光调制器与光轴垂直，该角度下空间光调制器的衍射效率达到最大，生成的涡旋光与物光干涉效果质量好。本发明将涡旋光与泰曼格林系统相结合，结构简单，易于操作，相移更加精确，相比现在技术有较大的进步。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 涡旋 螺旋 相位 相移 干涉 检测 物体 装置 | ||
【主权项】：
1.一种检测物体面型装置，其特征在于，包括检测模块、激光光源(1)、扩束准直模块(2)、分光棱镜(5)、扩束透镜组(6)、反射式纯相位液晶空间光调制器(7)、成像透镜(9)以及二维光电传感器(10)；/n所述激光光源(1)用于产生激光光束，经扩束准直模块(2)扩束和准直处理后，送入分光棱镜(5)；/n分光棱镜(5)将接收的光线分成反射光束和透射光束，其中：/n透射光束照射到被测物体(8)后，反射光束再次经分光棱镜(5)反射到成像透镜(9)，并经其聚焦到二维光电传感器(10)上；/n反射光束给扩束透镜组(6)，进行光束扩束并准直处理后，送给反射式纯相位液晶空间光调制器(7)，反射式纯相位液晶空间光调制器(7)将其调制成不同初始相位涡旋光，透过分光棱镜(5)后再经成像透镜(9)聚焦到二维光电传感器(10)上；/n所述二维光电传感器(10)接收两路光束叠加形成的干涉图样；检测模块根据所述干涉图样检测被测物体(8)的面型。/n
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