[发明专利]一种采用W掺杂改善MoS2气体传感器性能的方法有效

专利信息
申请号: 201910712981.5 申请日: 2019-08-02
公开(公告)号: CN110455873B 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 张勇;刘灿;谭俊江;孟繁朴 申请(专利权)人: 湘潭大学
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;C01G39/06;C01G41/00
代理公司: 南京行高知识产权代理有限公司 32404 代理人: 王培松
地址: 411105 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供了一种采用W掺杂改善MoS2气体传感器性能的方法,包括以下步骤:在MoS2生长过程中,引入与Mo4+离子半径相近的W4+离子,实现对材料空位的填补,改善气体分子在材料表面的吸附/脱附行为。通过水热法合成了W掺杂MoS2材料,并进一步制作出平面叉指型NO2气体传感器。结果表明,W的掺杂使得MoS2气体传感器对NO2气体的响应/恢复行为得到了极大的改善,响应/恢复时间降低了一个数量级,从几百秒降低到几十秒。本发明利用经济有效的水热法实现了空位补偿并且提高了MoS2气体传感器响应/恢复速度,制备过程简单,反应条件对所需仪器要求低、工艺简单、成本低等优点,在室温快速气体检测中的领域中具有巨大的应用前景。
搜索关键词: 一种 采用 掺杂 改善 mos2 气体 传感器 性能 方法
【主权项】:
1.一种采用W掺杂改善MoS2气体传感器性能的方法,在MoS2生长过程中,引入与Mo4+离子半径相近的W4+离子,W4+进入晶格后填补了Mo4+缺失产生的空位,达到MoS2均匀表面的目的,其特征在于,通过对MoS2材料中空位的填补实现气敏性能提升。/n
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