[发明专利]一种提升铁基金属材料表面镀膜结合力的加工方法在审
申请号: | 201910715451.6 | 申请日: | 2019-08-05 |
公开(公告)号: | CN110284118A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 陈君;乐务时 | 申请(专利权)人: | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/02;C23C14/06;C23C14/24;C23C28/04 |
代理公司: | 苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人: | 叶栋 |
地址: | 215126 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种提升铁基金属材料表面镀膜基结合力的加工方法,其特征在于,在所述铁基金属材料表面生长碳纳米管阵列,主要包括如下步骤:1)、活化热处理铁基金属材料;2)、其次采用化学气相沉积法在铁基金属材料表面沉积碳纳米管阵列;3)、最后采用pvd方法在铁基金属材料上生长金属氮化物,所述金属氮化物部分填充于碳纳米管阵列间隙中,且其总厚度大于所述碳纳米管阵列的沉积厚度。这种加工方法通过在金属氮化物薄膜与铁基金属材料的界面区域合理构筑中间层,从而有效提升薄膜的结合力,增加薄膜的服役寿命。 | ||
搜索关键词: | 铁基金属材料 碳纳米管阵列 结合力 金属氮化物 表面镀膜 薄膜 金属氮化物薄膜 加工 化学气相沉积 表面沉积 表面生长 服役寿命 界面区域 热处理 中间层 沉积 活化 填充 构筑 生长 | ||
【主权项】:
1.一种复合薄膜,用于铁基金属材料表面,包括:设于所述铁基金属材料表面的缓冲层,所述缓冲层由碳纳米管阵列和填充于其中的金属氮化物构成;设于所述缓冲层上的功能层,所述功能层由金属氮化物构成。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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