[发明专利]一种高灵敏度实时在线原位振动检测系统及方法在审
| 申请号： | 201910716674.4 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112326013A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 孙良;徐征宙;郭美微 | 申请（专利权）人： | 量敏传感技术（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高灵敏度实时在线原位振动检测系统及方法，基于光场内部干涉原理识别振动模式且通过匹配连续振动点的相似曲线来区分振动信号源和振动噪声干扰，同时高灵敏度光路系统可以识别干涉区域的微小变动，从而实现高灵敏度实时在线原位振动检测。激光进入分光棱镜，一部分光束直接到达反射镜面，而后返回至分光棱镜后，被探测器采集；另一部分光束经过光学变换后光路进入振动模块,振动改变入射光束反射路径和光偏振信息，信息光束与在先反射光束发生干涉，以不发生振动状态的探测器界面为基准，识别振动模式和干涉区域振动位移的微小变动。该统及方法具有灵敏度高、实时、在线原位、高可靠性和稳定性，信息丰富，功能易于扩充等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 实时 在线 原位 振动 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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