[发明专利]一种利用八边形铸锭热场铸造单晶的方法及铸造单晶硅锭在审
| 申请号： | 201910717092.8 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110387579A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 胡动力;张华利;陈红荣;游达 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B11/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用八边形的晶硅铸锭的热场结构铸造单晶硅锭的方法及制得的铸造单晶硅锭，热场结构包括炉体、设置在所述炉体内的八边形的坩埚，所述坩埚外设置有护板、加热系统和保温系统，所述炉体还设有支撑所述坩埚和护板的导热块，所述方法利用上述热场结构制备铸造单晶硅锭，采用该八边形热场结构，可在同样规格的炉体内提高装料量，且热场内部的温度更加均匀，同时改善了边角硅锭质量，提升了铸造单晶硅锭的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅锭 铸造 热场结构 八边形 坩埚 护板 炉体 体内 导热 保温系统 加热系统 晶硅铸锭 装料量 边角 单晶 硅锭 良率 热场 铸锭 制备 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种利用八边形铸锭热场铸造单晶硅锭的方法，其特征在于，所述热场结构包括：炉体、设置在所述炉体内的八边形的坩埚，所述坩埚外设置有护板、加热系统和保温系统，所述炉体还设有支撑所述坩埚和护板的导热块；所述方法包括以下步骤：在所述坩埚的底部铺设单晶籽晶，形成籽晶层；在所述籽晶层上装载固体硅料，对所述坩埚进行加热使得所述固体硅料熔化，控制所述坩埚内的温度，使所述籽晶层不完全熔化；控制所述坩埚内的温度，沿垂直于坩埚底部的方向形成由下向上逐步升高的温度梯度，使熔化的硅液在中心区域沿所述单晶籽晶的晶向定向凝固，得到铸造单晶硅锭。
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