[发明专利]一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910717231.7 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN110453186A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 吴健;雷雨;肖世洪;周志宏;沈艳斌;周昭寅 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C24/04;C23C4/131;C23C4/08;C22C27/06;C22C19/05 |
| 代理公司： | 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 林德强<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 510800广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。这种旋转镍铬合金靶材是通过以下的方法制得：1)制备平均粒径D50为20μm～100μm的镍铬粉末；2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；3)转动靶材基管，将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面，制得靶材；4)将冷喷涂后的靶材进行机加工，制得旋转镍铬合金靶材成品。本发明制备旋转镍铬合金靶材的方法工艺简单、操作方便、合金成分范围宽，适合大规模工业生产。所制得的靶材纯度高，相对密度大，氧含量低，晶粒尺寸均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 镍铬合金 基管 制备 镍铬粉末 冷喷涂 尺寸均匀性 晶粒 靶材纯度 表面喷砂 不锈钢管 平均粒径 机加工 材基 对靶 喷枪 钛管 合金 转动 | ||
【主权项】：
1.一种旋转镍铬合金靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：/n1)制备镍铬粉末：制备平均粒径D50为20μm～100μm的镍铬粉末；/n2)准备基管：以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；/n3)冷喷涂：转动靶材基管，将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面，制得靶材；/n4)成型：将冷喷涂后的靶材进行机加工，制得旋转镍铬合金靶材成品。/n
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