[发明专利]一种具有自动维护功能的芯片拾取装置在审
申请号: | 201910718518.1 | 申请日: | 2019-08-05 |
公开(公告)号: | CN110491822A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 金荣 | 申请(专利权)人: | 深圳市律远汇智科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/67;H05F3/06 |
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地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有自动维护功能的芯片拾取装置,包括固定板、竖板、处理器、维护机构和拾取机构,第一电机、横管和两个拾取组件,横管内设有风机和负离子发生器,拾取组件包括吸盘、吸管、连接管和伸缩单元,维护机构包括清洗箱、托板、注液管、密封盖、导流块、清洗组件和包围框,清洗组件包括水泵、抽液管、输液管、转动单元、横管和两个喷头,该具有自动维护功能的芯片拾取装置通过拾取机构方便控制两个拾取组件的位置,使得远离竖板的拾取组件进行芯片拾取,而另一个可方便进行除尘除静电,不仅如此,通过维护机构对吸盘的边缘周围喷洒酒精,冲刷吸盘上的灰尘,保证吸盘的洁净,改善吸盘对芯片的吸附拾取效果,从而提高了设备的实用性。 | ||
搜索关键词: | 吸盘 拾取组件 维护机构 横管 芯片拾取装置 清洗组件 拾取机构 自动维护 竖板 负离子发生器 喷头 吸管 伸缩单元 芯片拾取 转动单元 包围框 抽液管 除静电 导流块 固定板 连接管 密封盖 清洗箱 输液管 注液管 除尘 风机 处理器 拾取 托板 吸附 冲刷 水泵 喷洒 酒精 电机 芯片 洁净 保证 | ||
【主权项】:
1.一种具有自动维护功能的芯片拾取装置,其特征在于,包括固定板(1)、竖板(2)、处理器(3)、维护机构和拾取机构,所述竖板(2)固定在固定板(1)的下方,所述拾取机构设置在固定板(1)的下方,所述维护机构设置在竖板(2)的底端的靠近维护机构的一侧,所述处理器(3)固定在竖板(2)的顶端的另一侧,所述处理器(3)内设有PLC;/n所述拾取机构包括第一电机(4)、横管(5)和两个拾取组件,所述第一电机(4)固定在固定板(1)的下方,所述第一电机(4)与横管(5)的中心处传动连接,两个拾取组件分别位于横管(5)的两端的下方,所述横管(5)内设有风机(6)和负离子发生器(7),所述第一电机(4)、风机(6)和负离子发生器(7)均与PLC电连接,所述拾取组件包括吸盘(8)、吸管(9)、连接管(10)和伸缩单元,所述吸盘(8)固定在吸管(9)的底端,所述吸管(9)的顶端的外周与连接管(10)的底端的内壁密封连接,所述连接管(10)的顶端与横管(5)连通,所述吸管(9)通过伸缩单元与连接管(10)连接;/n所述维护机构包括清洗箱(11)、托板(12)、注液管(13)、密封盖(14)、导流块(15)、清洗组件和包围框(16),所述清洗箱(11)和托板(12)从下而上依次与竖板(2)固定连接,所述注液管(13)与清洗箱(11)的一侧的上部连通,所述盖板盖设在注液管(13)上,所述导流块(15)和包围框(16)均固定在托板(12)的上方,所述导流块(15)位于包围框(16)的内侧,所述导流块(15)的顶部的形状与吸盘(8)相匹配,所述清洗组件包括水泵(17)、抽液管(18)、输液管(19)、转动单元、喷管(20)和两个喷头(21),所述水泵(17)通过抽液管(18)与清洗箱(11)的底部连通,所述水泵(17)与输液管(19)的底端连通,所述输液管(19)的顶端依次穿过清洗箱(11)的顶部、托板(12)和导流块(15)与喷管(20)的中心处连通,两个喷头(21)分别固定在喷管(20)的两端,所述水泵(17)与PLC电连接,所述转动单元与输液管(19)传动连接。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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