[发明专利]一种用于太阳能光伏刻蚀设备中的输送滚轮在审
| 申请号： | 201910719174.6 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110931402A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 宁利军 | 申请（专利权）人： | 苏州煊能自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明为了解决太阳能光伏刻蚀设备硅片易发生过刻，且背面和四周刻蚀质量的技术问题，提高产能，提高反射率，提高效率，节省酸耗，提供了一种的输送滚轮，有左旋螺纹与右旋螺纹式的凸出承托部结构，螺纹槽的深度为3.5‑4.5MM，螺纹槽的宽度为3‑6MM，螺纹槽的角度为10‑20度。传输速度最快提升至3.5米/分钟。提高产能；螺纹深度：螺纹宽：度螺纹角度带来更平稳的传输，带来更稳定化学平均反应。提高反射率。提高效率。能降低液位波动，改善了高减重在药液反应生成的气泡在螺纹槽内有足够的空间进行平缓消失，降低过刻，降低了化学药液的消耗。节省酸耗使用成本，间接对环境保护有意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能 刻蚀 设备 中的 输送 滚轮 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
