[发明专利]一种运动平台垂直度的检测工具及方法有效
| 申请号： | 201910719615.2 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110530295B | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王军华;陈姝;张泰 | 申请（专利权）人： | 湖南国科智瞳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B5/245 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 肖云 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙高新开发区岳*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种运动平台垂直度的检测工具，用于辅助显微图像采集装置的XY运动平台完成垂直度检测工作，包括菲林尺、玻璃板、检测基板；检测基板与片夹基板安装尺寸一致，用于设置于XY运动平台上；玻璃板设置于检测基板上，用于承载菲林尺；菲林尺上设置有校验图形，校验图形用于标定XY运动平台的安装误差。一种检测方法，用于通过显微图像采集装置和检测工具辅助完成垂直度检测，包括(1)检测Y方向垂直度；(2)计算X方向垂直度。本发明操作方法简单，采用菲林尺来制作配套的测量工具，可以有效的提高测量精度；同时，因为采用的校准工具简单，且有效地利用了显微图像采集装置的现有成像放大系统，可以在很大程度上降低校准成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 平台 垂直 检测工具 方法 | ||
【主权项】：
1.一种运动平台垂直度的检测工具，用于辅助显微图像采集装置(200)的XY运动平台(230)完成垂直度检测工作，其特征在于：包括菲林尺(110)、玻璃板(120)、检测基板(130)；/n所述检测基板(130)与片夹基板(260)安装尺寸一致，用于设置于所述XY运动平台(230)上；所述玻璃板(120)设置于所述检测基板(130)上，用于承载所述菲林尺(110)；/n所述菲林尺(110)上设置有校验图形，所述校验图形用于标定所述XY运动平台(230)的安装误差。/n
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