[发明专利]光学系统、坐标测量机、确定横向位置或角偏折值的方法和装置有效
| 申请号： | 201910721162.7 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110823123B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·延森;杨征 | 申请（专利权）人： | 赫克斯冈技术中心 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王小东;黄纶伟 |
| 地址： | 瑞士赫*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开光学系统、坐标测量机、确定横向位置或角偏折值的方法和装置。本发明涉及一种光学系统(1)，具体地光学相干断层成像扫描仪，包括：光学相干断层成像测量装置；和光束偏折单元，该光束偏折单元用于横向偏折光学相干断层成像测量装置的光束路径的位置和/或角度。根据本发明，在光束路径中存在光学部件，所述光学部件被实现成：依赖于偏折后的光束路径在光学部件上的横向位置，所述光学部件的后向反射在其沿着光束路径的纵向位置方面具有不同的配置。光学系统包括评估单元，该评估单元被实现成：光束偏折单元的横向位置和/或角偏折的值可基于光学相干断层成像测量装置确定的在光学部件处的后向反射的纵向位置来确定。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 坐标 测量 确定 横向 位置 角偏折值 方法 装置 | ||
【主权项】：
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