[发明专利]一种校准方法、校准装置、校准系统及电子设备

摘要

本申请提供一种校准方法、校准装置、校准系统及电子设备，校准方法包括：获取第一距离、第二距离、第三距离以及第四距离；根据第一距离、第二距离、第三距离以及第四距离校准预设抛光头圆至目标抛光头圆，以使第一距离与第二距离相等，以及第三距离与第四距离相等。因此，通过使第一距离与第二距离相等，以及第三距离与第四距离相等，对抛光头圆进行校准，以使抛光头圆对应的抛光头与装卸台圆对应的装卸台同轴度一致。采用上述方法对抛光头与装卸台的位置进行校准，方便快捷，且误差小、准确度高。

主权项

1.一种校准方法，其特征在于，包括：获取第一距离、第二距离、第三距离以及第四距离；其中，所述第一距离为第一校准点与预设抛光头圆的最短距离，所述第二距离为第二校准点与所述预设抛光头圆的最短距离，所述第三距离为第三校准点与所述预设抛光头圆的最小圆弧距离，所述第四距离为第四校准点与所述预设抛光头圆的最小圆弧距离；所述第一校准点、所述第二校准点、所述第三校准点以及所述第四校准点位于装卸台圆上；所述预设抛光头圆为抛光头的起始位置对应的圆，所述装卸台圆为装卸台的固定位置对应的圆；根据所述第一距离、所述第二距离、所述第三距离以及所述第四距离校准所述预设抛光头圆至目标抛光头圆，以使所述第一距离与所述第二距离相等，以及所述第三距离与所述第四距离相等；其中，所述目标抛光头圆为所述抛光头的目标位置对应的圆。