[发明专利]一种大口径反射镜表面颗粒污染物亚像素尺寸标定方法有效
| 申请号： | 201910722708.0 | 申请日： | 2019-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN110389090B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 陈明君;赵林杰;张德志;程健;蒋晓东;尹朝阳;苗心向;牛龙飞;吕海兵;刘昊 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 时起磊 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种大口径反射镜表面颗粒污染物亚像素尺寸标定方法，本发明的目的是为了解决现有像素级尺寸标定方法精度低的问题。过程为：一、将整个通光域均分为4×4个子区域，制备与子区域尺寸相同的标定板，并在标定板上预置不同尺寸的二氧化硅颗粒；二、将标定板依次放置在反射镜表面均匀分割的不同的子区域上，并分别采集不同区域的标定板图片；三、得到颗粒污染物在图像中的位置坐标、像素面积、像素直径、总灰度信息；四、在超景深显微镜下测量颗粒污染物的实际直径和实际面积；五、训练污染物面积、直径标定模型，由训练好的污染物面积、直径标定模型对测试样本进行估计。本发明用于表面颗粒污染物亚像素尺寸标定领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 反射 表面 颗粒 污染物 像素 尺寸 标定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大口径反射镜表面颗粒污染物亚像素尺寸标定方法，其特征在于：所述方法具体过程为：步骤一、将整个通光域均分为4×4个子区域，制备与子区域尺寸相同的标定板，并在标定板上预置不同尺寸的二氧化硅颗粒；步骤二、将标定板依次放置在反射镜表面均匀分割的不同的子区域上，并分别采集不同区域的标定板图片；步骤三、对采集到的不同区域的标定板图片进行图像处理，得到颗粒污染物在图像中的位置坐标、像素面积、像素直径、总灰度信息；步骤四、根据步骤三得到的颗粒污染物在图像中的位置坐标信息，在超景深显微镜下测量颗粒污染物的实际直径和实际面积；步骤五、根据步骤四得到的颗粒污染物的实际直径和实际面积与步骤三三得到的颗粒污染物在标定板采集图像的位置坐标、像素面积、像素直径、总灰度信息训练污染物面积、直径标定模型，由训练好的污染物面积、直径标定模型对测试样本进行估计。
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