[发明专利]用于MEMS器件的敏感结构贴片系统及方法有效
| 申请号： | 201910724030.X | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110482483B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 梁文华;王汝弢;王永胜;王登顺;刘韧;唐琼;车一卓;郑义 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于MEMS器件的敏感结构贴片系统及方法，该系统包括管壳定位装置、撞针式点胶装置、自动贴片装置和配重单元，管壳定位装置用于定位安装MEMS器件的管壳，撞针式点胶装置用于向MEMS器件的管壳施加设定量的贴片胶，自动贴片装置包括敏感结构拾取单元、图像采集单元和控制单元，图像采集单元用于采集敏感结构的图片，控制单元根据敏感结构的图片控制敏感结构拾取单元拾取敏感结构并将敏感结构放置在管壳设定位置，配重单元用于向放置在管壳上的敏感结构施加设定压力以实现敏感结构与管壳的紧密贴合。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感结构贴片精度差、效率低及点胶胶量一致性差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 器件 敏感 结构 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于MEMS器件的敏感结构贴片系统，其特征在于，所述敏感结构贴片系统包括：/n管壳定位装置(10)，所述管壳定位装置(10)用于定位安装MEMS器件的管壳；/n撞针式点胶装置(20)，所述撞针式点胶装置(20)用于向所述MEMS器件的管壳施加设定量的贴片胶；/n自动贴片装置，所述自动贴片装置包括敏感结构拾取单元、图像采集单元和控制单元，所述控制单元分别与所述敏感结构拾取单元和所述图像采集单元连接，所述图像采集单元用于采集所述敏感结构的图片，所述控制单元根据所述敏感结构的图片以获取所述敏感结构的位置和角度并基于所述敏感结构的位置和角度控制所述敏感结构拾取单元拾取敏感结构并将所述敏感结构放置在所述管壳设定位置；/n配重单元(30)，所述配重单元(30)用于向放置在所述管壳上的所述敏感结构施加设定压力以实现所述敏感结构与所述管壳的紧密贴合。/n
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