[发明专利]芴肟酯类化合物,其制备方法及应用有效
申请号: | 201910725289.6 | 申请日: | 2019-08-07 |
公开(公告)号: | CN112341359B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 钱晓春;胡春青;徐丽萍;于培培 | 申请(专利权)人: | 常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力先端电子材料有限公司 |
主分类号: | C07C251/66 | 分类号: | C07C251/66;C07C251/68;C07D333/22;C07C249/12;C08F2/48;G03F7/027 |
代理公司: | 北京汉德知识产权代理事务所(普通合伙) 11328 | 代理人: | 刘子文;徐驰 |
地址: | 213011 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开一种新型芴肟酯类化合物,其制备方法,以及含有该芴肟酯类化合物的光引发剂和感光性树脂组合物。该芴肟酯类化合物具有如下A、B、C、D或E所示的化学结构,作为光引发剂使用时能够避免曝光引起的分解物附着于掩模上,同时具有良好的图案效果,附着性、耐碱性和透明度优异。 |
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搜索关键词: | 芴肟酯类 化合物 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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