[发明专利]石英玻璃坩埚和石英玻璃坩埚的制造方法有效
| 申请号： | 201910725841.1 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110820040B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;佐藤忠广;北原江梨子;北原贤 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杨戬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
[课题]目的在于，提供一种石英玻璃坩埚，其能够防止因石英玻璃坩埚的大型化而产生的向直体部的内侧的倾倒、变形，进一步在具有特性不同的多个层的石英玻璃坩埚中，防止在这些层直接接触的交界部因密度差而产生的剥离；以及所述石英玻璃坩埚的制造方法。[解决手段]硅单晶提拉用石英玻璃坩埚，其特征在于，在具有直体部和底部的硅单晶提拉用石英玻璃坩埚中，在直体部上部密度低，在底部密度高。硅单晶提拉用石英玻璃坩埚，其具有直体部和底部，在包含多层的硅单晶提拉用石英玻璃坩埚中，在外层与内层接触的交界部处，各自的层的密度差为0.0014g/cm |
||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于胜高股份有限公司，未经胜高股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910725841.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
