[发明专利]一种喷墨打印柔性显示器件制造系统及方法

摘要

本发明属于柔性显示器件制造相关技术领域，并公开一种喷墨打印柔性显示器件制造系统，其包括基板输入模块、基板转移模块、喷印模块、喷印后处理模块、固含量检测模块、薄膜封装喷印模块、成膜检测模块和基板输出模块等，同时对这些功能模块进行了高度集成及结构和布置的优化设计。本发明还公开了相应的工艺方法。通过本发明，可形成一种更适于工业级应用的喷墨打印柔性显示器件制造系统，同时采用多个检测模块对制造流程进行监控，更有效地实现了柔性显示器件喷墨打印制造的制造效率高、器件良品率高和生产成本低等优点。

主权项

1.一种喷墨打印柔性显示器件制造系统，其特征在于，该系统包括基板输入模块(100)、基板转移模块(200)、喷印模块(300)、喷印后处理模块(400)、固含量检测模块(500)、薄膜封装喷印模块(600)、成膜检测模块(700)和基板输出模块(800)，其中：/n所述基板输入模块(100)设置于整个制造系统的前端，并用于将作为承印材料的基板执行预处理，然后输送进入到所述喷印模块(300)；/n所述基板转移模块(200)处于整个制造系统的中央区域，它具有多套基板搬运机械手(201)和环形轨道(202)，并且沿着该环形轨道的周向方向布置有所述喷印模块(300)、喷印后处理模块(400)、固含量检测模块(500)、薄膜封装喷印模块(600)和成膜检测模块(700)这些功能模块，由此可根据不同工况需求，采用该基板搬运机械手(201)在所述环形轨道(202)上执行定向运动，从而将基板在上述功能模块之间实现搬运及转移；/n所述喷印模块(300)包括第一Y轴运动单元(360)、第一X轴运动单元(370)、第一喷头单元(310)、第一喷头上视检测单元(320)、第一基板下视检测单元(330)、第一飞行墨滴观测单元(340)和喷印AOI检测单元(350)，其中该第一Y轴运动单元(360)用于实现所述第一喷头单元(310)在横向方向也即Y轴方向上的移动，该第一X轴运动单元(370)用于实现基板在纵向方向也即X轴方向上的移动；该第一喷头单元(310)还配备有竖直方向也即Z轴方向上的运动组件，并在到达预定位置后用于在基板表面上执行墨水材料功能层的图案化沉积；此外，该第一喷头上视检测单元(320)用于对所述第一喷头单元的喷头表面洁净度及位置角度等进行实时检测，该第一基板下视检测单元(330)用于对基板的位置进行实时检测；该第一飞行墨滴观测单元(340)用于对所述第一喷头单元所喷射的墨滴状态进行观测并执行驱动波形校准，该喷印AOI检测单元(350)则用于对完成图案化沉积后的基板执行扫描成像，同时利用采集的图像进行各类喷印缺陷的检测；/n所述喷印后处理模块(400)用于将完成图案化沉积后被转移至此的基板进行真空干燥、烘烤及固化处理；所述固含量检测模块(500)包括薄膜表面溅射设备(510)和薄膜表面检测设备(520)，其中该薄膜表面溅射设备(510)用于将转移至此的基板在其指定区域溅射镀金属层，并送至该薄膜表面检测设备(520)检测获知镀金属层前后墨水材料功能层的形貌特征；/n所述薄膜封装喷印模块(600)用于将转移至此的基板在其表面继续执行薄膜封装墨水材料的打印成膜；所述成膜检测模块(700)与该薄膜封装喷印模块(600)保持相连，并用于检测上述薄膜封装后的基板表面是否存在质量缺陷；/n所述基板输出模块(800)设置于整个制造系统的后端，并包括第一基板旋转组件(801)、第一直线运动组件(802)、第一基板夹具(803)和第一气浮平台(804)，其中该第一基板旋转组件(801)用于将转移至此的基板首先调整运动方向，该第一气浮平台(804)借助于气流使基板悬浮于平台表面；该第一基板夹具(803)夹持住基板，并通过所述第一直线运动组件(802)的往复运动，从而将基板最终输出上述制造系统。/n