[发明专利]一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪有效
| 申请号： | 201910728477.4 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110514147B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 蒋弘;吴健 | 申请（专利权）人： | 北京市普锐科创科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/27;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人： | 高丽萍 |
| 地址： | 100085 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪，包括双频激光头和中性分光镜，在中性分光镜透射或反射形成的第一测量光路上依次设置第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，在中性分光镜反射或透射形成的第二测量光路上依次设置平面反射镜以及第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，第二偏光分束镜、第一偏光分束镜和第一偏振光电接收器/第二偏振光电接收器还依次位于第一测量光路/第二测量光路从基准反射镜反射后返回光的光路上。本发明能同时完成滚转角和直线度的的测量，不仅光学零件数目减少，而且调整过程的工作量减半，而且可以消除由于第一测量光和第二测量光不平行所引起的滚转角误差，使测量精度大大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 测量 转角 直线 双频 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
1.一种可同时测量滚转角和直线度的双频激光干涉仪，包括双频激光头、中性分光镜、第一偏振光电接收器、第二偏振光电接收器和信号处理单元，所述双频激光头发出的参考光路的信号被信号处理单元接收形成参考信号，所述双频激光头发出的测量光路上设置所述中性分光镜，所述中性分光镜透射和反射后分别形成两测量光路，其特征在于，在所述中性分光镜透射或反射形成的第一测量光路上依次设置有第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，所述第二偏光分束镜、第一偏光分束镜和第一偏振光电接收器还依次位于第一测量光路从基准反射镜反射后返回光的光路上，所述基准反射镜反射后返回光与沿基准反射镜的特征方向入射的入射光方向相反、相互平行且间隔一段距离，在所述中性分光镜反射或透射形成的第二测量光路上依次设置有平面反射镜以及所述第一偏光分束镜、第二偏光分束镜和基准反射镜，所述第二偏光分束镜、第一偏光分束镜和第二偏振光电接收器还依次位于第二测量光路从基准反射镜反射后返回光的光路上，所述第一偏振光电接收器和第二偏振光电接收器均连接信号处理单元。/n
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