[发明专利]微透镜母模制造方法及微透镜母模在审
| 申请号： | 201910729842.3 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN112346154A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄玲玲 | 申请（专利权）人： | 北京万应科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种微透镜母模制造方法及微透镜母模，包括：在衬底上涂敷光刻胶；在所述光刻胶上光刻图形，形成光刻窗口；在所述光刻窗口内电镀预定金属，形成金属柱；其中，光刻窗口的直径与金属柱直径相等；去除光刻胶；对金属柱进行高温真空回流处理，形成金属半球；所述金属半球降温固化，得到微透镜母模。利用本发明实施例不仅能够简化制作工艺，还可采用常规半导体加工工艺实现高精度、高密度、高占空比微透镜母模的制造，大大降低生产成本，同时还可采用电镀和高温真空回流技术使金属半球表面光滑如镜，大大降低金属半球的粗糙度，实现超低粗糙度制造，而且易于清洁和再生，可适应各种微透镜母模的制造，适用性广。 | ||
| 搜索关键词： | 透镜 制造 方法 | ||
【主权项】：
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