[发明专利]一种高灵敏度柔性电子皮肤及其制备方法在审
| 申请号： | 201910730633.0 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN110491989A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 徐从康;周刚;王江涌 | 申请（专利权）人： | 汕头大学 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;H01L41/31;H01L41/113 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曹江;周增元<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 515000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高灵敏度柔性电子皮肤及其制备方法，制备方法主要包括PDMS基片的制备、TCO薄膜的制备、多壁碳纳米管溶液的制备、压电复合材料的制备、粗糙模板的制备、压电传感器的成型、在各TCO上使用导电银浆迁出一根铜线，压电传感器从磨砂玻璃上剥离下来，和TCO薄膜结合在一起；高压极化电场下处理12小时。本发明得到的高灵敏度柔性电子皮肤主要由柔性电极及介电层两部分组成，不同于常规的柔性电子皮肤对大载荷下灵敏，对小载荷情况下依然保持灵敏度，用于人工智能、健康监测和仿生机器人。本发明的制备方法简单且可行且能够与测试其他参数(如温度、湿度等)的电子皮肤兼容，为制备出自发电的多种参数同步测量的电子皮肤打下基础。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 皮肤 柔性电子 压电传感器 高灵敏度 磨砂玻璃 多壁碳纳米管溶液 高压极化电场 压电复合材料 仿生机器人 人工智能 参数同步 导电银浆 健康监测 柔性电极 铜线 常规的 大载荷 介电层 灵敏度 小载荷 成型 灵敏 粗糙 兼容 剥离 测量 测试 发电 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏度柔性电子皮肤的制备方法，其特征在于，主要包括以下步骤：/n(1)PDMS基片的制备：取PDMS前聚物加入质量分数1％-10％的介孔二氧化硅纳米颗粒混合并磁力搅拌，然后按照PDMS和固化剂10:1的比例加入固化剂后继续搅拌，然后将混合物倒入培养皿中静置，再将培养皿真空干燥箱中反复抽气直到看不到气泡为止片；/n(2)TCO薄膜的制备：将制备好的PDMS基片放到磁控溅射镀膜机在水冷条件下，在网洞金属薄片的载物台上，用等离子体对PDMS表面进行清洁和活性处理，然后镀一层TCO薄膜；/n(3)多壁碳纳米管溶液的制备；/n(4)压电复合材料的制备：取PDMS前聚体加入疏水性试剂稀释，然后加入压电陶瓷纳米颗粒，继续加入多壁碳纳米管溶液，磁力搅拌2-3小时，将混合均匀的复合材料在真空干燥箱中抽真空，去除疏水试剂；然后按照PDMS和固化剂10:1的比例加入固化剂，搅拌10-20分钟，制备出压电传感器的介电层；/n(5)粗糙模板的制备：将磨砂玻璃在稀盐酸或稀氢氧化钠中浸泡5-10min备用；/n(6)压电传感器的成型：将步骤(4)制备好的压电传感器的介电层通过旋涂覆盖在处理后的磨砂玻璃上，通过反复旋涂几次增加厚度，然后放到真空干燥箱在75-85℃干燥2-3小时；/n(7)柔性电子皮肤的制备：在各TCO上使用导电银浆迁出一根铜线，将步骤(6)制备好的压电传感器从磨砂玻璃上剥离下来，和TCO薄膜结合在一起；/n(8)对步骤(7)制作好的柔性电子皮肤在高压极化电场下处理12小时。/n
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