[发明专利]一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201910732234.8 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110467462A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 胡强楠;征卫星;马文卫;张帅;赵志勇;刘秉宁;孟将;李正飞;饶晓方 | 申请（专利权）人： | 宁夏中色新材料有限公司;西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622;C22C29/12;C22C1/05;C23C14/35;B22F3/04;B22F3/14 |
| 代理公司： | 64103 宁夏合天律师事务所 | 代理人： | 郭立宁<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 753000 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材及其制备方法，该靶材密度≥4.5g/cm3，电阻率≤1.4×10‑3Ω·cm，长度≥400mm，壁厚6—14mm。制备方法包括以下步骤：1）粉末混合：将氧化铌粉末与金属铌粉进行机械混合均匀；2）粉末预烧：对步骤1）中混合后粉末进行真空预烧；3）粉末处理：对预烧粉末进行球磨处理；4）冷等静压成型：对处理粉末装入模具中冷等静压预压成型旋转靶材坯体；5）坯体车削加工：对靶材坯体进行车削加工；6）真空热压烧结：对加工坯体置入石墨模具中进行热压真空烧结；7）靶坯加工：对烧结旋转靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低电阻旋转氧化铌靶材。该靶材导电性较好，具有较好的物理和化学性能，有效提高靶材产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转靶材 靶材 坯体 预烧 车削加工 低电阻 高致密 制备 冷等静压成型 真空热压烧结 导电性 氧化铌靶材 氧化铌粉末 粉末处理 粉末混合 化学性能 机械混合 加工坯体 冷等静压 石墨模具 预压成型 真空烧结 烧结 电阻率 金属铌 氧化铌 壁厚 对靶 球磨 热压 置入 模具 装入 加工 | ||
【主权项】：
1.一种高致密低电阻氧化铌旋转靶材，其特征在于所述高致密低电阻氧化铌旋转靶材密度≥4.5g/cm3，电阻率≤1.4×10-3Ω·cm，长度≥400mm，壁厚6—14mm。/n
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