[发明专利]一种适用于大尺寸硅片的纳米球自组装方法在审

专利信息
申请号: 201910734926.6 申请日: 2019-08-09
公开(公告)号: CN110423521A 公开(公告)日: 2019-11-08
发明(设计)人: 王茜茜;职森森;刘晓瑞;吴仕梁;路忠林;张凤鸣 申请(专利权)人: 江苏日托光伏科技股份有限公司
主分类号: C09D125/06 分类号: C09D125/06;H01L31/18
代理公司: 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 代理人: 缪友建
地址: 214028 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开一种适用于大尺寸硅片的纳米球自组装方法,包括以下步骤:(1)在聚苯乙烯纳米球悬浮液中加入碱液,使聚苯乙烯纳米球悬浮液分散性提高,搅拌均匀;(2)通过注射器将步骤(1)的聚苯乙烯纳米球悬浮液吸取待用;(3)调节注射器与水面之间的接触状态,利用微推注射法将聚苯乙烯纳米球悬浮液注射到水‑空气界面;(4)在水面形成聚苯乙烯纳米球悬浮单层膜,通过排出水或提高水下硅片将小球转移到硅片衬底上;(5)将硅片基板放置在低温烘烤使溶剂蒸发,在毛细管力的作用下聚苯乙烯纳米球形成六方紧密排列附着在硅片基板上。本发明通过提出在聚苯乙烯纳米球悬浮液中加入碱,使聚苯乙烯纳米球悬浮液分散性提高,聚苯乙烯纳米球可均匀覆盖大尺寸硅片衬底,实现适用于大尺寸硅片的高质量单层膜的制备。
搜索关键词: 聚苯乙烯纳米球 悬浮液 大尺寸硅片 硅片基板 单层膜 分散性 纳米球 自组装 硅片 注射器 衬底 水面 低温烘烤 接触状态 紧密排列 均匀覆盖 空气界面 毛细管力 溶剂蒸发 排出水 注射法 碱液 小球 附着 制备 悬浮 注射
【主权项】:
1.一种适用于大尺寸硅片的纳米球自组装方法,其特征在于包括以下步骤:(1)在聚苯乙烯纳米球悬浮液中加入碱液,悬浮液中碱液的质量分数为0.01%‑0.03%,使聚苯乙烯纳米球悬浮液分散性提高,搅拌均匀;(2)通过注射器将步骤(1)的聚苯乙烯纳米球悬浮液吸取待用,(3)调节注射器与水面之间的接触状态,利用微推注射法将聚苯乙烯纳米球悬浮液注射到水‑空气界面;(4)在水面形成聚苯乙烯纳米球悬浮单层膜,通过排出水或提高水下硅片将小球转移到硅片衬底上;(5)将硅片基板放置在60℃以下低温烘烤使溶剂蒸发,在毛细管力的作用下聚苯乙烯纳米球形成六方紧密排列附着在硅片基板上。
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