[发明专利]一种高灵敏度人工等离激元传感器在审

专利信息
申请号: 201910737199.9 申请日: 2019-08-11
公开(公告)号: CN110455878A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 罗子江;倪照风;崔潇 申请(专利权)人: 贵州财经大学
主分类号: G01N27/22 分类号: G01N27/22
代理公司: 34157 亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 刘佳<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 550025贵*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 发明涉及一种高灵敏度人工等离激元传感器,特别是一种具有有毒有害气体检测,生物病毒检测等领域用的高灵敏度传感器。包括介质基板、金属微带及金属地,所述介质基上设有微带波导结构,所述金属地设置于金属微带的背面,所述介质基板设置于金属微带与金属地之间,所述的金属微带与一人工表面等离激元段连接,所述的人工表面等离激元段上设置有周期排列的方槽,所述的人工表面等离激元段两侧镜设置有局域型人工等离激元体,所述局域型人工等离激元体上有周期对称排列的扇形凹槽,所述金属地上铺设待测介质薄膜。本发明用于有毒有害气体及生物病毒的检测,本发明具有体积小、功耗低、检测灵敏度高,抗外界干扰能力强,易于高度集成的优点。
搜索关键词: 等离激元 金属微带 人工表面 金属地 介质基板 生物病毒 高灵敏度传感器 检测灵敏度 波导结构 高度集成 高灵敏度 介质薄膜 气体检测 扇形凹槽 外界干扰 周期对称 周期排列 传感器 段连接 镜设置 能力强 体积小 检测 方槽 功耗 微带 背面 铺设 金属
【主权项】:
1.一种高灵敏度人工等离激元传感器,其特征在于:包括介质基板(1)、金属微带(2)及金属地(7),所述介质基板(1)上设有微带波导结构,所述金属地(7)设置于金属微带(2)的背面,所述介质基板(1)设置于金属微带(2)与金属地(7)之间,所述的金属微带(2)与一人工表面等离激元段(6)连接,所述的人工表面等离激元段(6)上设置有周期排列的方槽(5),所述的人工表面等离激元段(6)两侧镜设置有局域型人工等离激元体(4),所述局域型人工等离激元体(4)上有周期对称排列的扇形凹槽(3),所述金属地(7)上铺设待测介质薄膜(8)。/n
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