[发明专利]一种芯片加工用双工位固晶机及其使用方法有效

专利信息
申请号: 201910738734.2 申请日: 2019-08-12
公开(公告)号: CN110459491B 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 黄晓波;沈田 申请(专利权)人: 安徽龙芯微科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L33/48
代理公司: 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 代理人: 胡剑辉
地址: 243000 安徽省马*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种芯片加工用双工位固晶机及其使用方法,包括工作台,所述工作台为长方体空腔结构,所述工作台的台面中间位置固定设置有转动腔,所述转动腔的上方固定设置有转动摇杆,所述转动摇杆的一端固定设置有固晶腔,所述固晶腔的下方分别设置有加工台一和加工台二,所述加工台一和加工台二分别设置在工作台的台面上,所述工作台的台面一侧还设置有加热台,通过在工作台的台面上设置加工台一和加工台二,当操作人员对加工台一上的芯片进行装夹时,加工台二上完成芯片的固晶加工,依次循环操作,提高芯片固晶加工效率;通过设置多个驱动机构使固晶摆臂的固晶角度和高度能够进行调整,提高固晶摆臂的适用性。
搜索关键词: 一种 芯片 工用 双工 位固晶机 及其 使用方法
【主权项】:
1.一种芯片加工用双工位固晶机,其特征在于:包括工作台(1),所述工作台(1)为长方体空腔结构,所述工作台(1)的台面中间位置固定设置有转动腔(2),所述转动腔(2)的上方固定设置有转动摇杆(3),所述转动摇杆(3)的一端固定设置有固晶腔(4),所述固晶腔(4)的下方分别设置有加工台一(5)和加工台二(51),所述加工台一(5)和加工台二(51)分别设置在工作台(1)的台面上,所述工作台(1)的台面一侧还设置有加热台(7);/n所述转动腔(2)为竖直放置的长方体空腔结构,且在转动腔(2)内部底面上通过电机安装座设置有转动电机一(201),所述转动电机一(201)的输出端连接减速器的输入端,减速器的输出端与转动摇杆(3)底面一端焊接连接,所述转动摇杆(3)的一端在竖直方向上固定设置有固晶腔(4),所述固晶腔(4)为竖直放置的底面无盖的长方体空腔结构,所述固晶腔(4)空腔内部两侧的侧壁在竖直方向上开设有滑槽一(406),所述固晶腔(4)的内部水平设置电机安装板(407),所述电机安装板(407)的两侧分别设置有与固晶腔(4)内部的滑槽一(406)相适配的滑块,所述电机安装板(407)通过两侧的滑槽一(406)滑动连接在固晶腔(4)的内部,所述固晶腔(4)的外部顶面上固定设置有气缸(401),所述气缸(401)在固晶腔(4)的顶面上倒置设置,且气缸(401)输出端活塞杆贯穿固晶腔(4)的顶面与固晶腔(4)内部的电机安装板(407)顶面焊接连接,所述固晶腔(4)的顶面在竖直方向上开设有若干个导向孔,且在固晶腔(4)的导向孔内滑动连接有导向杆(404),所述导向杆(404)贯穿固晶腔(4)的顶面进行设置,且导向杆(404)位于固晶腔(4)内部的一端与电机安装板(407)的板面焊接,且导向杆(404)位于固定腔(4)外部的一端固定设置有限位块(403),所述电机安装板(407)的底面中心位置固定设置有转动电机二(402),所述转动电机二(402)的输出周上固定连接有固晶摆臂(405),所述固晶摆臂(405)呈L型结构,且在固晶摆臂(405)下方的工作台(1)的台面上分别设置有加工台一(5)和加工台二(51);/n所述加工台一(5)与加工台二(51)完全一致,且在工作台一(5)与工作台二(51)的台面上架设有固定盘定位台(6),所述固定盘定位台(6)包括L型挡板和设置在L型挡板斜对角的固定块(62),所述固定盘定位台(6)上固定设置有芯片固定盘(61),所述芯片固定盘(61)为方形结构,且在芯片固定盘(61)上开设有若干个芯片固定槽,所述芯片固定盘(61)在固定盘定位台(6)上通过L型挡板和固定块(62)进行锁紧固定,在L型挡板的一侧中间位置开设有螺纹孔(63),且在L型挡板的螺纹孔内通过螺纹连接有锁紧杆(64),所述锁紧杆(64)的末端与芯片固定盘(61)的侧面相抵。/n
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