[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201910739050.4 | 申请日: | 2019-08-12 |
公开(公告)号: | CN111613675A | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 大野哲也;加藤浩朗;小林研也;西口俊史;下村纱矢 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/40;H01L29/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 牛玉婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实施方式的半导体装置具有第1电极、第1导电型的第1半导体区域、第2导电型的多个第2半导体区域、第1导电型的多个第3半导体区域、第1导电部、栅极电极及第2电极。多个第2半导体区域设置于第1半导体区域的上方。多个第3半导体区域分别选择性地设置于多个第2半导体区域的上方。第1电极隔着第1绝缘部而设置于第1半导体区域中。栅极电极设置于第1导电部及第1绝缘部的上方,并与第1导电部分离。栅极电极具有第1电极部分及第2电极部分。第2电极部分在第1方向上位于第1电极部分与多个第3半导体区域中的另一个第3半导体区域之间。在第1电极部分与第2电极部分之间设置有包含空隙的第2绝缘部。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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