[发明专利]一种非球面熔石英元件表面微缺陷快速定位方法有效
| 申请号： | 201910740204.1 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110411346B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 陈明君;尹朝阳;赵林杰;程健;张德志;蒋晓东;廖威;王海军;张传超;栾晓雨 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/14;G01N21/95;G01N21/27 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 时起磊 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种非球面熔石英元件表面微缺陷快速定位方法，它属于工程光学技术领域。本发明解决了现有光学元件表面微缺陷检测效率以及定位准确率低的问题。本发明建立机床坐标系，根据待测熔石英元件的非球面的四条边界线在机床坐标系下的位置，来获得待测熔石英元件的非球面的几何中心在机床坐标系下的坐标；将待测熔石英元件移动至光谱共焦位移测距仪处，对待测熔石英元件的非球面表面的特征点进行测距，根据非球面表面的特征点坐标来拟合出待测熔石英元件的非球面在元件坐标系下方程；采用CMOS面阵相机采集图像后，将图像的二维信息还原至三维，从而获得待测熔石英元件非球面表面缺陷点的位置信息。本发明可以应用于光学元件表面微缺陷检测技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 石英 元件 表面 缺陷 快速 定位 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非球面熔石英元件表面微缺陷快速定位方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、以机床的机械零点为原心O，建立机床坐标系O‑XYZ，机床坐标系的三轴指向同空间直角坐标系的三轴指向；步骤二、基于步骤一，使待测熔石英元件位于明场视野中心，利用面阵CCD相机采集待测熔石英元件图像，根据待测熔石英元件的非球面的四条边界线在机床坐标系下的位置，来获得待测熔石英元件的非球面几何中心移动至明场视野中心时，机床在机床坐标系下的坐标；步骤三、将待测熔石英元件移动至光谱共焦位移测距仪处，对待测熔石英元件的非球面表面的特征点进行测距，获得非球面表面特征点的坐标值；并利用非球面表面特征点的坐标值，来拟合出待测熔石英元件的非球面在元件坐标系下方程；步骤四、基于步骤二和步骤三，将待测熔石英元件移至CMOS面阵相机工位进行单幅拍照，对采集的图像进行处理后，将图像的二维信息还原至三维，从而获得待测熔石英元件非球面表面缺陷点的位置信息，并对待测熔石英元件非球面表面缺陷点进行修复。
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