[发明专利]一种背板与高纯金属靶材的扩散焊接方法有效
| 申请号： | 201910740807.1 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN110421246B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/14;B23K20/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 315400 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种背板与高纯金属靶材的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括如下步骤：准备高纯金属靶材与背板，并在背板的焊接面上加工螺纹；组合高纯金属靶材与背板，并将组合材料放置于金属包套中；对装入组合材料的金属包套进行脱气处理，然后将金属包套进行密封；冷等静压密封后的金属包套；对冷等静压处理后的金属包套进行热等静压处理，然后冷却至室温；去除金属包套，完成背板与高纯金属靶材的扩散焊接。本发明通过对组合材料先进行冷等静压处理，再进行热等静压处理，克服了热等静压在低温下达不到工艺压力的缺点，从而保证了螺纹的嵌入效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 高纯 金属 扩散 焊接 方法 | ||
【主权项】：
1.一种背板与高纯金属靶材的扩散焊接方法，其特征在于，所述扩散焊接方法包括如下步骤：(1)准备高纯金属靶材与背板，并在背板的焊接面上加工螺纹；(2)组合高纯金属靶材与背板，并将组合材料放置于金属包套中；(3)对装入组合材料的金属包套进行脱气处理，然后将金属包套进行密封；(4)冷等静压密封后的金属包套；(5)对冷等静压处理后的金属包套进行热等静压处理，然后冷却至室温；(6)去除金属包套，完成背板与高纯金属靶材的扩散焊接。
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