[发明专利]静电吸头有效
| 申请号： | 201910741214.7 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN111146974B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 陈立宜 | 申请（专利权）人： | 美科米尚技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 萨摩亚阿庇亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电吸头，包含主体、电极、复合介电层以及至少一个介电层。电极设置在主体上。介电层设置并覆盖在电极上。复合介电层设置在介电层上。复合介电层包含聚合物层和多个无机介电微粒。无机介电微粒分布在聚合物层中。无机介电微粒的介电系数大于聚合物层的介电系数。介电层的电阻率大于复合介电层的电阻率。本发明所提出的静电吸头可以防止静电吸头刮伤、使聚合物层与待拾取的微型元件之间有更好的接触、增强拾取微型元件的静电压力、并可避免静电吸头的漏电流现象。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸头 | ||
【主权项】：
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