[发明专利]一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统及其方法有效
| 申请号： | 201910742243.5 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110445005B | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张华;韩晓泉;黄利杰;冯泽斌;张琴;廖密;王香;江锐 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/097 | 分类号： | H01S3/097;H01S3/036;G05B19/042;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光器技术领域，特别涉及一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统及其方法；本发明通过硬件互锁管理单元接收传感器发送至的腔体开关信号同时接收光刻机发送至的控制信号，硬件互锁管理单元向配电管理单元发送通道开关信号同时向主控器发送互锁信号，由主控器进行互锁信号逻辑处理，综合硬件互锁管理单元并增加了互锁信息CAN接口传送到激光器，使激光器工作的安全性得到提高，有效保护设备和人身安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 准分子激光 硬件 互锁 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于准分子激光器的硬件互锁控制系统，与激光器的主控器进行无线通讯，其特征在于，包括设置在激光器内的用于监测激光器内腔体情况的传感器、用于发出控制信号的光刻机、用于向所述主控器发送互锁信号的硬件互锁管理单元和用于进行供电的配电管理单元；所述硬件互锁管理单元接收所述传感器发送至的腔体开关信号同时接收所述光刻机发送至的控制信号，所述硬件互锁管理单元向所述配电管理单元发送通道开关信号同时向所述主控器发送互锁信号，由所述主控器进行互锁信号逻辑处理。
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