[发明专利]一种在反应堆用锆合金表面制备高硬耐磨复合涂层的方法在审
| 申请号： | 201910742461.9 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110453184A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 柴林江;关浩天;向康;朱宇凡;黄芹;郑志莹;麻彦龙;刘成龙 | 申请（专利权）人： | 重庆理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06 |
| 代理公司： | 50211 重庆市前沿专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 郭丽<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 400054*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在反应堆用锆合金表面制备高硬耐磨复合涂层的方法，包括以下步骤：1)将锆合金工件打磨至光亮，然后进行一次清洗并干燥，并且在涂层制备之前对工件表面进行二次清洗并干燥；2)采用多弧离子镀在工件表面制备Cr/TiAlN复合涂层，将预处理后的锆合金工件放置于多弧离子镀腔体内，将所述腔体抽至真空，所述真空的压力为3×10‑3Pa；通入氩气，使得腔体内气压达到约1Pa，打开离子源并采用离子源对工件表面和靶材进行清洗；调整多弧离子镀参数，依次进行Cr涂层和TiAlN涂层的制备。通过本发明方法所制备的高硬耐磨Cr/TiAlN复合涂层，具有较好的耐摩擦磨损性能，同时表面硬度较基体大大提升，涂层表面致密且孔隙率低，具有一定的抗氧化能力，从而改善Zr‑4和Zr702合金表面性能，具有操作方便、设备简单、经济实用、技术可靠、质量稳定等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 多弧离子镀 工件表面 锆合金 制备 复合涂层 离子源 预处理 致密 耐磨复合涂层 抗氧化能力 氩气 表面硬度 表面制备 二次清洗 工件打磨 工件放置 合金表面 经济实用 磨损性能 体内气压 涂层表面 涂层制备 一次清洗 质量稳定 孔隙率 耐摩擦 反应堆 耐磨 靶材 腔体 清洗 体内 | ||
【主权项】：
1.一种在反应堆用锆合金表面制备高硬耐磨复合涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1)工件预处理：将锆合金工件打磨至光亮，然后进行一次清洗并干燥，并且在涂层制备之前对工件表面进行二次清洗并干燥；/n(2)工件表面涂层制备：采用多弧离子镀在工件表面制备Cr/TiAlN复合涂层，具体包括以下步骤：将上述预处理后的锆合金工件放置于多弧离子镀腔体内，将所述腔体抽至真空，所述真空的压力为3×10-3Pa；通入氩气，使得腔体内气压达到约1Pa，打开离子源并采用离子源对工件表面和靶材进行清洗；调整多弧离子镀参数，依次进行Cr涂层和TiAlN涂层的制备。/n
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