[发明专利]半导体器件在审
申请号: | 201910743284.6 | 申请日: | 2019-08-13 |
公开(公告)号: | CN110828428A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 文孝植;姜相列;金恩善;朴瑛琳;郑圭镐;曹圭镐 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L23/64 | 分类号: | H01L23/64;H01L27/108;H01L49/02 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
一种半导体器件包括:衬底上的下电极;电介质层结构,在下电极上并且包括具有四方晶相的铪氧化物;模板层,在电介质层结构上并且包括铌氧化物(NbO |
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搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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