[发明专利]原子力显微镜探针的法向弹性常数针尖无损标定装置和使用方法有效
| 申请号： | 201910744619.6 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110470442B | 公开（公告）日： | 2020-05-26 |
| 发明（设计）人： | 镐东越;吴森 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01M5/00 | 分类号： | G01M5/00;G01N3/20;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜探针的法向弹性常数针尖无损标定装置和使用方法，法向弹性常数针尖无损标定装置包括：灵敏度标定微台、弯曲力标定微台和二维电动位移台，灵敏度标定微台和弯曲力标定微台各安装在一个二维电动位移台上或安装在同一个二维电动位移台上，其中，灵敏度标定微台包括一第一倾斜硅片基底，弯曲力标定微台包括：天平和第二倾斜硅片基底，第一倾斜硅片基底和第二倾斜硅片基底的顶端各形成有一棱。相对于以往的采用弯曲法对原子力显微镜探针法向弹性常数进行标定的系统，本发明的法向弹性常数针尖无损标定装置不会对微悬臂梁探针的针尖产生任何的损伤以及污染。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 探针 弹性 常数 针尖 无损 标定 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种原子力显微镜探针的法向弹性常数针尖无损标定装置，其特征在于，包括：灵敏度标定微台、弯曲力标定微台和二维电动位移台(12)，所述灵敏度标定微台和弯曲力标定微台各安装在一个所述二维电动位移台(12)上或安装在同一个所述二维电动位移台(12)上，用于在水平面移动，其中，所述灵敏度标定微台包括一第一倾斜硅片基底(11)，所述弯曲力标定微台包括：天平(21)和第二倾斜硅片基底(22)，所述第一倾斜硅片基底(11)和第二倾斜硅片基底(22)的顶端各形成有一棱。/n
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