[发明专利]一种应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统在审
| 申请号： | 201910745777.3 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN110342689A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 曾志家;郑国绍;陈军;周清林 | 申请（专利权）人： | 广东凯尔迪清洗技术有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F9/10 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其包括连通于市水入口的过滤C线，连接于原水存储桶的输出端的过滤A线和过滤B线，所述过滤A线，过滤B线和过滤C线的输出端均连通于纯水存储桶，纯水存储桶的输出端输出的纯水输送至清洗装置，经清洗半导体封装件后的废水再次溢流至原水存储桶处，再次经净化系统净化后循环利用，实现废水再生。其通过过滤A线，过滤B线和过滤C线共同完成对水质的净化处理，并与清洗装置形成一个循环闭环再生系统，不仅节约了水资源，而且大大降低了工业生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤 存储桶 再生系统 半导体封装 废水循环 清洗工序 清洗装置 输出端 原水 制程 连通 半导体封装件 工业生产成本 闭环 纯水输送 废水再生 净化处理 净化系统 循环利用 输出 市水 溢流 应用 废水 清洗 水资源 水质 净化 节约 | ||
【主权项】：
1.一种应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，包括：连通于市水入口的第一控制阀，所述第一控制阀的输出端连通于原水存储桶，所述原水存储桶上还连接有第一泵体，所述第一泵体的输出端分别连接有对原水进行净化处理的过滤A线和过滤B线，所述过滤A线和过滤B线的输出端均连通于一纯水存储桶，所述纯水存储桶上还连接有第二泵体，所述第二泵体将纯水存储桶内的纯水输送至半导体封装制程清洗工序的清洗装置处对半导体封装件进行清洗，清洗过半导体封装件后的废水再经溢流至所述原水存储桶内，以完成废水循环再生利用，其中，所述过滤A线和过滤B线互为备用过滤。
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