[发明专利]一种晶圆测试设备在审
| 申请号： | 201910745933.6 | 申请日： | 2019-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN112394274A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 邱海斌;严大生;蔡育源;王志勇 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆测试设备，包括：承载板，位于一承载台上，承载台具有窗口，该窗口外缘的所述承载台中具有若干连接孔，承载板的边缘具有若干圆弧形限位孔，若干圆弧形限位孔对应的圆心重合，圆弧形限位孔与连接孔数量相等并一一对应；若干紧固部件，紧固部件与连接孔数量相等并一一对应，紧固部件依次贯穿圆弧形限位孔和连接孔，以防止承载板和承载台在垂直方向相对运动；驱动装置，驱动装置用于驱动承载板相对于承载台水平转动。本发明的晶圆测试设备能够使承载板旋转，而且旋转精度高，旋转量可控，进而使探针卡的旋转量可控，方便于探针卡校准位置，节省测试时间，还能使探针位置精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 设备 | ||
【主权项】：
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