[发明专利]一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法

摘要

本发明公开的一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法，属于面形测量技术领域。本发明选取成熟的面形测量方法对一个光学表面测量P次，测量结果记为S1(m,n)；使用被评价面形测量方法测量对同一个光学元件测量P次，测量结果记为S2(m,n)；以S1(m,n)作为参照，对使用被评价面形测量方法得到的测量结果S2(m,n)进行位置匹配；将S1(m,n)和S2(m,n)分别代入归一化互相关关系数公式、衰减率公式，得到归一化互相关系数ncc和得到衰减率A，并将归一化互相关系数ncc和衰减率A相乘得到误差一致性系数SECC；根据误差一致性系数SECC评价面形误差一致性，SECC越趋近于100％，被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致，则被评价面形测量方法有效性越好。

主权项

1.一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法，其特征在于：包括如下步骤：/n步骤1：选取一种成熟的面形测量方法对一个光学表面测量P次，P≥3；/n步骤2：对步骤1获得的测量数据进行取平均处理，测量结果记为S₁(m,n)；/n步骤3：使用被评价面形测量方法测量对同一个光学元件测量P次，P≥3；/n步骤4：对步骤3获得的测量数据进行取平均处理，测量结果记为S₂(m,n)；/n步骤5：以使用成熟的面形测量方法得到的测量结果S₁(m,n)作为参照，对使用被评价面形测量方法得到的测量结果S₂(m,n)进行位置匹配；/n步骤6：将步骤2中的S₁(m,n)和步骤4中的S₂(m,n)代入归一化互相关关系数公式，得到归一化互相关系数ncc；将步骤2中的S₁(m,n)和步骤4中的S₂(m,n)代入衰减率公式得到衰减率A，并将归一化互相关系数ncc和衰减率A相乘得到误差一致性系数SECC；/n步骤7：根据步骤6获得的误差一致性系数SECC评价面形误差一致性，SEEC越趋近于100％，被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致，被评价面形测量方法与选取的成熟的面形测量方法越接近一致，则被评价面形测量方法有效性越好，当SECC大于预设阈值则判定被评价面形测量方法有效。/n