[发明专利]光学检测系统、装置及方法有效
申请号: | 201910747412.4 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN110426397B | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 陈琪;张礼朝;李晓春 | 申请(专利权)人: | 深圳市麓邦技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/01 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西丽*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及光学技术领域,尤其涉及一种光学检测系统、装置及方法,以精准完成物体表面的缺陷检测。本发明系统包括:多光谱光源;位于所述多光谱光源与待测物体之间的多点聚焦装置,用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光波分别聚焦到光轴上与波长大小相对应的不同位置上,并将由所述待测物体导致的反射光束逆向传输;数据处理装置,用于接收由所述待测物体导致的反射光束,并对反射光束进行光谱分析以确定最大反射率所对应的波长,并根据该最大反射率波长计算所述待测物体表面所对应缺陷的空间坐标。 | ||
搜索关键词: | 光学 检测 系统 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种光学检测系统,其特征在于,包括:多光谱光源;位于所述多光谱光源与待测物体之间的多点聚焦装置,用于将来自所述多光谱光源出射的不同波长的光波分别聚焦到光轴上与波长大小相对应的不同位置上;并将由所述待测物体导致的反射光束逆向传输;数据处理装置,用于接收由所述待测物体导致的反射光束,并对反射光束进行光谱分析以确定最大反射率所对应的波长,并根据该最大反射率波长计算所述待测物体表面所对应缺陷的空间坐标。
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