[发明专利]一种圆锅夹具与一种镀膜装置在审
| 申请号： | 201910747796.X | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110387530A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王广才;欧琳;李菁;王静 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京清源汇知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11644 | 代理人： | 冯德魁;窦晓慧 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本申请提供一种圆锅夹具与一种镀膜装置，其中，所述圆锅夹具包括：旋转机构、圆锅夹具轨道、圆锅夹具本体、晶圆夹具以及行星旋转机构；所述圆锅夹具本体向心的一侧装有所述晶圆夹具，所述圆锅夹具本体与所述晶圆夹具通过晶圆夹具轴承连接；在所述圆锅夹具本体公转与自转时，所述圆锅夹具本体通过所述行星旋转机构带动所述晶圆夹具绕所述晶圆夹具轴承进行与所述圆锅夹具本体自转方向相反的自转运动。本申请的圆锅夹具通过圆锅夹具本体的公转、自转以及晶圆夹具的自转运动，能够大幅提高晶圆镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 圆锅 夹具本体 晶圆夹具 夹具 自转 行星旋转机构 镀膜装置 自转运动 方向相反 夹具轨道 旋转机构 轴承连接 均匀性 镀膜 晶圆 申请 轴承 | ||
【主权项】：
1.一种圆锅夹具，其特征在于，包括：圆锅夹具本体、晶圆夹具以及行星旋转机构；所述圆锅夹具本体向心的一侧装有所述晶圆夹具，所述圆锅夹具本体与所述晶圆夹具通过晶圆夹具轴承连接；在所述圆锅夹具本体公转与自转时，所述圆锅夹具本体通过所述行星旋转机构带动所述晶圆夹具绕所述晶圆夹具轴承进行与所述圆锅夹具本体自转方向相反的自转运动。
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