[发明专利]一种芯片与基板的平行性检测装置在审
| 申请号： | 201910749355.3 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN110440720A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 韩冰;马洪涛;许洪刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 尹君君 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片与基板的平行性检测装置，包括：相互垂直设置的第一光源和第二光源；用以接收第一光源和第二光源两者所射出的光线、并将两者所射出的光线调节为同向的第一分光棱镜；靠近第一分光棱镜、且设于经调节为同向的光线的方向上的分划板；远离分划板、用以将经分划板的光线分别投射至芯片和基板的芯片投射组件和基板投射组件；设于芯片投射组件和基板投射组件的一侧、用以将经芯片和基板反射后的反射光线呈现于CCD相机的反射组件。上述芯片与基板的平行性检测装置，能够实现芯片与基板之间的平行性检测，且结构较为简单，使用可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 芯片 投射组件 平行性检测装置 光源 分划板 分光棱镜 射出 同向 平行性检测 垂直设置 反射光线 反射组件 光线调节 反射 投射 | ||
【主权项】：
1.一种芯片与基板的平行性检测装置，其特征在于，包括：相互垂直设置的第一光源(1)和第二光源(2)；用以接收所述第一光源(1)和所述第二光源(2)两者所射出的光线、并将两者所射出的光线调节为同向的第一分光棱镜(3)；靠近所述第一分光棱镜(3)、且设于经调节为同向的光线的方向上的分划板(4)；远离所述分划板(4)、用以将经所述分划板(4)的光线分别投射至芯片和基板的芯片投射组件和基板投射组件；设于所述芯片投射组件和所述基板投射组件的一侧、用以将经芯片和基板反射后的反射光线呈现于CCD相机(15)的反射组件。
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