[发明专利]一种硅片转运车

摘要

本发明涉及硅片加工技术领域，且公开了一种硅片转运车，包括推车本体，所述推车本体设有隔板，所述隔板顶端的四周固定安装有栏板，所述隔板上表面开设有滴落孔，所述隔板底端的四周设有支撑柱，所述支撑柱的顶端活动套接有三角放置板，所述隔板的底端放置在三角放置板的上表面。该硅片转运车，通过在固定柱内设有三角放置板，将隔板的四角放置在三角放置板的上方，当转运车遇到颠簸不平的路面时，三角放置板下方的弹簧会利用自身弹性将转运车所受到的作用力转变成弹簧自生形变以抵消所受到的震动，从而使放置在三角放置板上方的隔板趋于平稳，使硅片所受到的震动减小，实现了防止硅片磕碰的效果。