[发明专利]基于金刚石微悬臂梁的气体检测系统和方法

摘要

本公开的实施例公开了基于金刚石微悬臂梁的气体检测系统和方法，该检测系统包括：光源模块、调制模块、会聚模块、光声吸收池模块、金刚石微悬臂梁声学传感器模块、微弱信号放大模块、处理模块以及气体采样和回收模块，其中：上述调制模块和上述会聚模块设置于上述光源模块与上述光声吸收池模块之间，其中，上述光声吸收池模块与上述气体采样和回收模块相连，上述金刚石微悬臂梁声学传感器模块装在上述光声吸收池模块上，上述微弱信号放大模块与上述处理模块相连。从而有效的提高了检测的灵敏度、抗电磁干扰能力、稳定性、可靠性。

主权项

1.一种基于金刚石微悬臂梁的气体检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：光源模块、调制模块、会聚模块、光声吸收池模块、金刚石微悬臂梁声学传感器模块、微弱信号放大模块、处理模块以及气体采样和回收模块，其中：所述调制模块和所述会聚模块设置于所述光源模块与所述光声吸收池模块之间，其中，所述光声吸收池模块与所述气体采样和回收模块相连，所述金刚石微悬臂梁声学传感器模块装在所述光声吸收池模块上，所述微弱信号放大模块与所述处理模块相连；所述光源模块用于发射激光；所述调制模块用于调制所述激光；所述会聚模块用于将所调制的激光进行准直会聚；所述气体采样模块用于气体的采样；所述光声吸收池模块用于为所采样的气体与准直会聚后的激光发生光声反应提供场所，其中，所述光声反应产生声波信号；所述金刚石微悬臂梁声学传感器模块用于确定所述采样的气体与所述准直会聚后的激光是否发生所述光声反应，响应于所述金刚石微悬臂梁声学传感器模块确定所述采样的气体与所述准直会聚后的激光发生所述光声反应，则所述金刚石微悬臂梁声学传感器模块以及将探测到的声波信号转换为电信号以及传送给所述微弱信号放大模块；所述微弱信号放大模块用于将电信号进行放大；所述处理模块用于对所述放大的电信号进行分析跟处理；所述回收模块用于回收与所述准直会聚后的激光未发生所述光声反应的所述采样的气体。