[发明专利]一种石墨烯表面等离子体改性处理装置及处理方法

摘要

本发明提出了一种石墨烯表面等离子体改性处理装置及处理方法，属于石墨烯表面改性技术领域，特别是涉及一种石墨烯表面等离子体改性处理装置及处理方法。解决了现有通过超声波、加热或气流等处理石墨烯的方法产率低、片层团聚严重、长时间超声造成石墨烯大量结构缺陷、需要引入较多表面活性剂或者表面活化物的问题，以及现有等离子体处理方法只能作用于石墨烯堆积的表面层的问题。它包括真空室、玻璃容器、射频电源系统、对电极和旋转机构，所述真空室为卧式结构，所述对电极为圆弧形结构，所述对电极中间放置圆筒形玻璃容器，所述玻璃容器与旋转机构相连，以及相应的处理方法。它主要用于石墨烯表面改性处理。

主权项

1.一种石墨烯表面等离子体改性处理装置，其特征在于：它包括真空室(1)、玻璃容器(2)、射频电源系统(9)、对电极(10)和旋转机构，所述真空室(1)为卧式结构，所述真空室(1)上开设有充气孔(5)和抽气孔(6)，所述对电极(10)与射频电源系统(9)相连，所述对电极(10)为圆弧形结构，内侧圆弧部分为放电层(13)，中间部分为绝缘层(14)，外侧圆弧部分为屏蔽层(15)，所述对电极(10)中间放置圆筒形玻璃容器(2)，所述对电极(10)通过聚四氟乙烯块(12)固定在真空室(1)内壁上，并与玻璃容器(2)中心同轴，所述玻璃容器(2)与旋转机构相连，所述玻璃容器(2)一端设置有通孔(11)。