[发明专利]一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法在审
| 申请号： | 201910753796.0 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN110359011A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王亚玲;宋平;刘亚伟;肖志慧;单为健;杨志业 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜片固定装置、掩膜版及掩膜版的制作方法。该掩膜片固定装置包括承载部，承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔。通过在承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔，在贴合掩膜片的过程中，吸附气孔产生吸附力吸附掩膜片，使得掩膜片更好的贴合承载部，减少了掩膜片的褶皱现象，提高了掩膜片与承载部的贴合紧密度，从而保证了掩膜片的固定强度。另外，掩膜片的褶皱减少可以提高掩膜片的对位精度，进而提高掩膜版的精度。当掩膜版用于蒸镀显示面板的不同颜色的发光材料时，可以降低显示面板的色偏和混色等风险。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜片 掩膜版 吸附 承载 固定装置 贴合 显示面板 褶皱 发光材料 褶皱现象 吸附力 对位 混色 色偏 蒸镀 制作 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜片固定装置，其特征在于，包括承载部，所述承载部上设置有用于吸附掩膜片的至少一个吸附气孔。
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