[发明专利]用于刀具的涂覆涂层及其制备方法

摘要

本发明提供了一种用于刀具的涂覆涂层及其制备方法，涂覆涂层从下到上依次包括：TiN层，所述TiN层的厚度为0.5～1.0μm；TiCN层，所述TiCN层的厚度均为0.5～1.0μm；TiSiCN层，所述TiSiCN层的厚度均为2～8μm；TiSiCNO层，厚度为3～8μm；TiB层，厚度为0.5～2μm。制备方法具体为用化学气相沉积法在相应温度、气氛和气压下在硬质合金刀片上依次沉积上述涂层。涂覆有上述涂层的刀片硬度和耐磨性更强、耐磨损程度更高，使用寿命更长。

主权项

1.一种用于刀具的涂覆涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将数控刀片放入反应室内，再将反应室气压抽至10mbar以下；(2)在反应室温度为920～980℃，压力为50～200mbar的条件下通入TiCl₄、N₂和H₂的混合气体，在所述数控刀片上沉积一层0.5～1μm的TiN层；(3)在反应室温度为920～980℃，压力为200～500mbar的条件下通入TiCl₄、N₂、CH₄和H₂的混合气体，在TiN层上沉积一层0.5～1μm的TiCN层；(4)在反应室温度为920～980℃，压力为50～200mbar的条件下通入TiCl₄、SiCl₄、N₂、NH₃和H₂的混合气体，在TiCN层上沉积一层2～8μm的TiSiCN层；(5)在反应室温度为920～980℃，压力为50～200mbar的条件下通入TiCl₄、SiCl₄、CO₂、CO、HCl、NH₃和H₂的混合气体，在TiSiCN表面上沉积一层3～8μm的TiSiCNO层；(6)在反应室温度为950～1010℃，压力为200～700mbar的条件下通入TiCl₄、BCl₃和H₂的混合气体，在TiSiCNO表面上沉积一层0.5～2μm的TiB₂层，完成用于刀具的涂覆涂层。